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超音波式ガス濃度計 測定原理

なぜ超音波でガス濃度が計測できるのか

一般的に音速は約340m/s と知られていますが、これは私たちが生活している空気中、すなわち酸素約21%、窒素約79%、温度25℃での速度です。
ガスの組成や温度が変化すれば音速も変化します。

この特性を利用したのが超音波式ガス濃度計です。

送信用センサーと受信用センサーを対向させて配置し、送信センサーから超音波を発信します。
超音波がガス中を通過し、受信センサーに到達する時間を計測します。

図解

計算式

センサー間の距離が既知であるため、音速を求めることができます。

M=(γ×R×T/V2)×103

平均分子量が解れば、2種混合ガスの濃度を求めることができます。
酸素50%、窒素50%、ガス温度25℃の環境下で音速測定をすれば、音速は339.919m/s になります。
この音速値を上式に代入すれば平均分子量が約30 となります。

V=339.919m/s M =(1.4×8.314×(273.15+25)/339.919^2)=30

酸素と窒素の分子量差が約4ですので、平均分子量の30から窒素の分子量28を引いて、4で割れば酸素濃度が約50%と求められます。

酸素濃度 =(M-28)/4×100 = 50%O2

測定可能な混合ガス

上記の説明では窒素中の酸素濃度測定を例にあげましたが、超音波式ガス濃度計は原理的にあらゆる2種混合ガスの測定が可能です。
測定分解能は、測定する混合ガスの分子量の差が大きいほど向上します。
ガス温度25℃における酸素100%の音速は329.23m/s、窒素100%は351.88m/s、水素100%は1316.93m/sです。
センサー間の距離が10 ㎝の場合、酸素窒素混合ガスの到達時間差は約20μSとなります。
スキャンタイムが0.2μSのCPUであれば、100カウントしか測定できないため、分解能は1%となります。
水素窒素混合ガスであれば到達時間差は約208μSとなり、スキャンタイムが同じCPUであれば約1000カウントの測定ができ、分解能は0.1%となります。
CPUのスキャンタイムが0.02μSであれば酸素窒素混合ガスでも約1000カウントの時間測定ができるため、分解能は 0.1%となります。
またセンサーの長さを10㎝から20㎝に延ばせば到達時間差も20μSから40μSとなり、同じスキャンタイム0.2μSのCPUであっても倍の分解能が得られます。
このように、超音波式ガス濃度計にはまだまだ性能をあげる要素があり、今後の用途の広がりが期待されています。

  酸素 窒素 水素
分子量(g/mol) 32 28 2
音速(m/s) 329.23 351.88 1316.93
到達時間(μS) 303.95 284.19 75.93
時間差(μS) 19.76 208.26
分解能 約1% 約0.1%
約0.1% 約0.01%

測定実績

酸素(O2)、窒素(N2)、水素(H2)、二酸化炭素(CO2)、ヘリウム(He)、アルゴン(Ar)、キセノン(Xe)、クリプトン(Kr)、ネオン(Ne)、六弗化硫黄(SF6)、四弗化炭素(CF4)、亜酸化窒素(笑気ガス,N2O)

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